[18p-F3-1~19] 7.4 ナノインプリント

[18p-F3-16] 破壊力学モデルによるナノインプリントプロセスにおける離型のシミュレーション解析

塩津隆弘^1,2，大井秀也³，渡辺陽一³，植村公亮^1,2，栩野貴充¹，安田雅昭^1,2，川田博昭^1,2，小林卓也³，^○平井義彦^1,2 (阪府大¹，JST-CREST²，メカニカルデザイン³)

キーワード：ナノインプリント,離型,シミュレーション