2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15．結晶工学 » 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[18p-F6-1~20] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

2014年3月18日(火) 13:30 〜 18:45 F6 (F306)

14:00 〜 14:15

[18p-F6-3] Si基板上での低温Ge薄膜成長

○早瀬凌1，伊藤友樹2，川島知之1,2，鷲尾勝由1,2 (東北大工1，東北大院工2)

キーワード：Si,Ge,結晶成長