[18p-F6-1~20] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[18p-F6-5] Si結晶中へのMnδドーピング: キャリア輸送特性評価

^○村田晃一^1,2，坪松悟史^1,2，金澤孝^1,2，古谷野有²，日塔光一¹，三木一司^1,2 (物材機構¹，筑波大院数物²)

キーワード：半導体,ドーピング,マンガン