[18p-F7-2~10] 21世紀グラフェン産業を支えるプラズマプロセスの現状と展望

[18p-F7-3] マイクロ波プラズマCVDによるグラフェンの合成と応用（30分）

^○梅野正義^1,2 (中部大¹，名産研²)

キーワード：グラフェン,マイクロ波CVD,低温・直接成長