[18p-PA6-1~5] 8.2 プラズマ診断・計測

[18p-PA6-5] 基板バイアス印加したSi(100)基板に水素プラズマを曝露した際に生じたSi中の水素吸着の基板温度依存性

丸野尚紀，谷口雄二郎，八木翔平，^○篠原正典，松田良信，藤山寛 (長崎大院)

キーワード：水素プラズマ,Si原子欠陥,水素の挿入