2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

14.半導体B(探索的材料・物性・デバイス) » 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[18p-PG3-1~19] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

2014年3月18日(火) 13:30 〜 15:30 PG3 (G棟2階)

13:30 〜 15:30

[18p-PG3-18] 低Mg ドープp-AlGaN 及びp-InGaN ショットキー電極の電気的特性の評価

青木俊周,橘佐智,塩島謙次 (福井大院工)

キーワード:AlGaN,InGaN,ショットキー接触