[19a-D1-1~9] 4.7 レーザー・プロセッシング

[19a-D1-2] パルスレーザーメルティング法によりMnを過飽和ドープしたSiの電気伝導特性

^○小柴悠資，山田涼，内藤宗幸，青木珠緒，杉村陽，梅津郁朗 (甲南大)

キーワード：Mn,PLM,Si