[19a-D5-1~12] 6.6 プローブ顕微鏡

△ [19a-D5-5] 非接触走査型非線形誘電率顕微鏡を用いたSi(100)-2×1表面における双極子モーメント分布の観察

^○鈴木将敬¹，山末耕平¹，阿部真之²，杉本宜昭³，長康雄¹ (東北大通研¹，名大工²，阪大工³)

キーワード：走査型非線形誘電率顕微鏡,半導体,Scanning Nonlinear Dielectric Microscopy