2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

[19a-D9-1~13] 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

2014年3月19日(水) 09:00 〜 12:30 D9 (D315)

11:00 〜 11:15

[19a-D9-8] 金属/半導体界面における拡散過程の理論検討

平松智記,中山隆史 (千葉大)

キーワード:界面,MIGS,拡散