2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス » 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[19a-E10-1~9] 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

2014年3月19日(水) 09:30 〜 12:00 E10 (E204)

10:15 〜 10:30

[19a-E10-4] a軸配向多結晶ZnOを用いたZnO-TFTの作製

大島直到,羽賀浩一,瀧澤義浩 (仙台高専)

キーワード:酸化亜鉛,酸化亜鉛,薄膜トランジスタ