[19a-E4-1~5] シリコンテクノロジー分科会論文賞および奨励賞記念講演

[19a-E4-5] 「第5回シリコンテクノロジー分科会研究奨励賞受賞記念講演」（15分）バルク／SOI FinFET の自己加熱およびアナログ特性の最適化

^○高橋綱己¹，別府伸耕²，陳君ろ²，小田俊理³，内田建^1,2 (慶應大電子工¹，東工大電物²，東工大量子ナノエレ研セ³)

キーワード：FinFET,自己加熱効果,アナログ特性