[19a-F6-1~6] 8.4 プラズマエッチング

[19a-F6-6] CH₄/H₂プラズマによるGaNの高温エッチング

^○（M1）加古隆，劉沢セイ，石川健治，小田修，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝 (名大院工)

キーワード：窒化ガリウム,etching