PDF ダウンロード スケジュール 5 いいね! 0 09:15 〜 09:30 [19a-F8-2] 超低損失水素化アモルファスシリコン導波路 ○武井亮平1,2,眞子祥子1,2,面田恵美子1,2,鈴木政雄1,2,森雅彦1,2,榊原陽一1,2,亀井利浩1,2 (産総研1,PECST2) キーワード:アモルファスシリコン,シリコンフォトニクス,光導波路