[19a-PA4-1~12] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[19a-PA4-2] c-C₄F₈極低温凝縮層へのマイクロ波プラズマ照射により合成したa-C:F薄膜の物性評価

^○森川恭兵，和光賢司，曽我遥華，佐藤哲也 (山梨大院医工総研)

キーワード：フルオロカーボン,マイクロ波,フッ素