[19p-D10-1~6] 6.1 強誘電体薄膜

[19p-D10-6] (Hf_0.5Zr_0.5)O₂薄膜の強誘電性評価

^○横内達彦¹，清水荘雄¹，及川貴弘¹，白石貴久¹，舟窪浩¹，木口賢紀²，赤間章裕²，今野豊彦²，DongJikKim³，AlexeiGruverman³ (東工大¹，東北大²，ネブラスカ大³)

キーワード：強誘電体,ハフニウム