[19p-D6-1~18] 6.4 薄膜新材料

△ [19p-D6-8] 雰囲気制御下におけるCo_xO_y系薄膜の室温エピタキシャル成長と異種積層膜の作製

^○松田晃史¹，金子智^2,1，木口賢紀³，吉本護¹ (東工大・総理工¹，神奈川県産技セ²，東北大・金研³)

キーワード：酸化コバルト,エピタキシャル薄膜,室温成長