[19p-D8-1~13] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

△ [19p-D8-7] 界面顕微光応答法によるn-GaNショットキー接触の熱劣化過程の2次元評価

^○山本晋吾，木原雄平，塩島謙次 (福井大院工)

キーワード：GaN,ショットキー接触,二次元評価