[19p-D8-1~13] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

△ [19p-D8-8] AlGaN/GaN系2次元電子ガスへのコンタクト特性における電極材料およびAlGaN層厚依存性

^○武井優典¹，岡本真里¹，シンマン¹，萱沼玲¹，神谷真行¹，齋藤渉³，筒井一生¹，角嶋邦之¹，若林整¹，片岡好則²，岩井洋² (東工大総理工¹，東工大ﾌﾛﾝﾃｨｱ研²，東芝³)

キーワード：AlGaN,エッチング,オーミックコンタクト