[19p-E13-1~17] 窒化物半導体特異構造の科学　〜成長・作製と新機能の発現〜

[19p-E13-1] オ－プニングトーク～応用電子物性・結晶工学分科会共同企画シンポジウム～（15分）

^○三宅秀人¹，酒井朗² (三重大院工¹，阪大基礎工²)

キーワード：AlN,窒化物半導体,MOVPE