2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13．半導体A（シリコン） » 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[19p-E14-1~21] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2014年3月19日(水) 13:15 〜 18:45 E14 (E302)

14:00 〜 14:15

[19p-E14-4] 局所クリーン化ミニマルPLADエア循環システム（II）

○谷島孝1，安井政治1，ソマワンクンプアン1,2，前川仁1,2，原史朗1,2 (ミニマルファブ技術研究組合1，産総研2)

キーワード：minimal　fab