[19p-PG1-1~6] 9.1 誘電材料・誘電体

[19p-PG1-3] ITOを下部電極に用いたPZT薄膜の分極特性評価

^○白田和也¹，尾川弘祐¹，吉岡秀樹²，山本伸一¹ (龍谷大理工¹，兵庫工技セ²)

キーワード：チタン酸ジルコン酸鉛