[19p-PG3-1~32] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[19p-PG3-18] a-Si細線のマイクロ熱プラズマジェット結晶化における結晶成長観察

^○（DC）林将平^1,2，森崎誠司¹，上倉敬弘¹，山本将悟¹，中谷太一¹，東清一郎¹ (広大院先端研¹，学振特別研究員ＤＣ²)

キーワード：シリコン,熱プラズマジェット,結晶成長