[19p-PG3-1~32] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[19p-PG3-5] RF受信機のためのアレイ型MEMS共振器ミキサの検討

^○伊藤浩之¹，小西敏文²，松島隆明²，山根大輔¹，石原昇¹，町田克之^1,2，益一哉¹ (東工大¹，NTT-AT²)

キーワード：MEMS,RF,受信機