2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

14.半導体B(探索的材料・物性・デバイス) » 14.1 探索的材料物性

[20a-D3-1~11] 14.1 探索的材料物性

2014年3月20日(木) 09:00 〜 12:00 D3 (D114)

11:30 〜 11:45

[20a-D3-10] 真空蒸着法によるSi基板上へのBaSi2薄膜の作製

○(B)中川慶彦1,原康祐1,2,宇佐美徳隆1,2,末益崇2,3 (名大工1,JST-CREST2,筑波大3)

キーワード:バリウムシリサイド,真空蒸着