[20a-D8-1~11] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

△ [20a-D8-2] ダイヤモンドMOSFETの容量電圧特性の測定と解析

^○（B）原田和也¹，平間一行²，嘉数誠¹ (佐賀大院工¹，NTT物性基礎研²)

キーワード：半導体,ダイヤモンド