[20a-D9-1~10] 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

[20a-D9-10] 次世代TCAD(6) 3次元プロセスデバイスシミュレータによるIGBTの解析

^○大倉康幸，玉城哲平，池澤健夫，浜野明千宏，徳屋純一，桑原匠史，原田昌紀，山口憲，小池秀耀 (アドバンスソフト)

キーワード：デバイスミュレーション,プロセスシミュレーション