2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13．半導体A（シリコン） » 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[20a-E14-1~10] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2014年3月20日(木) 09:00 〜 11:45 E14 (E302)

11:15 〜 11:30

△ [20a-E14-9] TiN/Geコンタクトにおける低電子障壁発現機構の解明（Ⅱ）

○山本圭介1，光原昌寿2，吹留佳祐3，野口竜太郎3，西田稔2，王冬2，中島寛1 (九大産学連携センター1，九大総合理工学研究院2，九大総合理工学府3)

キーワード：Ge,SBH