[20a-F7-1~9] 6.5 表面物理・真空

[20a-F7-3] 各種基板上に形成された原子レベルで平坦なエピアルミナ

^○吉武道子，スラボミールネムシャク，知京豊裕 (物材機構)

キーワード：層状成長,結晶化,チャージアップ