14:45 〜 15:00
[20p-D8-8] 表面偏析予測システムSurfSeg
キーワード：薄膜,拡散バリア,故障解析
講演情報
一般セッション(口頭講演)
14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.3 電子デバイス・プロセス技術
[20p-D8-1~8] 14.3 電子デバイス・プロセス技術
2014年3月20日(木) 13:00 〜 15:00 D8 (D215)
一般セッション(口頭講演)
14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.3 電子デバイス・プロセス技術
2014年3月20日(木) 13:00 〜 15:00 D8 (D215)
14:45 〜 15:00
キーワード：薄膜,拡散バリア,故障解析