出展者情報

[At-4] AOV(株)

■１．グローブボックス内収納/接続型蒸着装置 ■２．真空蒸着用基板加熱機構（赤外線ランプ、赤外線レーザ、SiC、白金、グラファイト、シース等） ■３．複合型ＰＬＤ/ＭＢＥ蒸着装置 ■４．多元マルチ型マグネトロンスパッタ装置