2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

出展者情報

[Aa-7] 神津精機(株)

■高精度形状測定システムDyvoce(ダイボス)
~半導体ウエハの反りをはじめとする形状を簡単・高精度測定~
 非接触型の形状測定システム(ダイボス)は生成した2D/3DモデルからSEMI規格のSORI・BOW・GBIR等の各種規格値の自動算出が可能です。お客様の仕様に合わせたカスタマイズも可能です。
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    215-8521
    神奈川県川崎市麻生区栗木2-6-15

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    044-981-2131

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