2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

シンポジウム(口頭講演)

シンポジウム » 界面ナノ電子化学 「進化する半導体ウェットプロセス ~シリコンから化合物まで~」

[13p-1B-1~10] 界面ナノ電子化学 「進化する半導体ウェットプロセス ~シリコンから化合物まで~」

2015年9月13日(日) 13:15 〜 17:45 1B (133+134)

座長:真田 俊之(静岡大)

13:15 〜 13:30

[13p-1B-1] オープニング ; 界面ナノ電子化学研究会の意義

〇荒木 浩之1 (1.SCREEN SPE)

キーワード:洗浄、界面、ナノ