2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[13p-1D-1~26] 15.4 III-V族窒化物結晶

2015年9月13日(日) 13:15 〜 20:15 1D (141+142)

座長:斉藤 真(三菱化学),岡田 成仁(山口大),岩谷 素顕(名城大)

16:00 〜 16:15

[13p-1D-11] トリハライド気相成長法を用いたInGaN厚膜成長

〇平崎 貴英1、目黒 美佐稀1、ティユ クァン トゥ2、村上 尚1、熊谷 義直1、モネマー ボ2,3、纐纈 明伯1 (1.農工大院工、2.農工大GIRO、3.Linköping Univ.)

キーワード:窒化物半導体、InGaN、ハイドライド気相成長法