[13p-1D-1~26] 15.4 III-V族窒化物結晶

[13p-1D-26] 赤外分光法による低濃度Cp₂Mgのリアルタイム測定

〇林 大介¹、寺岡 温子¹、坂口 有平¹、南 雅和¹、西里 洋¹ (1.堀場エステック)

キーワード：ビスシクロペンタジエニルマグネシウム、有機金属化学気相成長法、赤外分光

ビスシクロペンタジエニルマグネシウム(Cp₂Mg)はGaN LEDのp-型ドーピング剤として広く用いられているが、供給ライン上でのガス濃度測定が難しく、供給条件は経験的に導かれるのが一般的である。今回我々はCp₂Mgが波長12.8 μmの赤外線に強い吸収を示すことに注目し、非分散赤外分光(NDIR)法により低濃度Cp₂Mgガスをリアルタイムに測定することに成功したので、本発表にて報告する。