[13p-1E-1~17] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[13p-1E-12] 多波回折条件下における高位置分解能Ｘ線トポグラフィ
II. 応用と展開

〇竹田 晋吾¹、津坂 佳之²、松井 純爾³、高野 秀和²、横山 和司³、篭島 靖² (1.SES、2.兵庫県立大院物質理学、3.兵庫県立大放射光ナノテクセンター)

キーワード：トポグラフィ、高空間分解能、多波回折

多波同時回折下における透過Ｘ線によるトポグラフは、結晶位置を固定したまま、回折波で撮像されたトポグラフ同様に、転位のバーガースベクトルに依存して転位像のコントラストを変える。ここではサファイヤ単結晶に対して、多波回折のうちから所望の回折条件のみを含む、位置分解能の高いトポグラフが得られた。個々の転位線像が細いので、比較的に転位密度の高い単結晶に対しても結晶を回転することなくＸ線トポグラフの撮像が可能である。