PDF ダウンロード スケジュール 9 いいね! 0 13:45 〜 14:00 [13p-1E-3] シリコン結晶の低炭素濃度評価へのアプローチ 〇中川 聰子1、日笠 光朗1、鹿島 一日兒1 (1.グローバルウェーハズ・ジャパン) キーワード:炭素、赤外吸収、フォトルミネッセンス