[13p-1E-1~17] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[13p-1E-5] レーザビーム屈折を用いた自由キャリアのバルク寿命評価： I. 原理実証

〇金田 寛¹、大村 一郎¹ (1.九工大院工)

キーワード：キャリア寿命、レーザ、屈折

シリコンウェーハのバルクキャリア寿命を評価するための新原理を提案し，実現可能性を示す．波長1064 nmのYAGレーザをウェーハに定常照射してウェーハ内部にフリーキャリアの濃度分布をつくる．YAGビームと平行に赤外レーザビームをウェーハに透過させ，ビーム間の距離を変えながら赤外ビームの屈折角を測定することでフリーキャリアの濃度分布を求め，その結果から寿命を求める．