13:45 〜 14:30
▲ [13p-1F-2] [Invited lecture of overseas researcher] Integrated Approaches for Surface Chemistry Control in Plasma Processing
キーワード:Plasma Processing,Surface Chemistry
一般セッション(口頭講演)
8 プラズマエレクトロニクス » 8.8 プラズマエレクトロニクス分科内招待講演
2015年9月13日(日) 13:00 〜 14:30 1F (レセプションホール1)
座長:杤久保 文嘉(首都大)
13:45 〜 14:30
キーワード:Plasma Processing,Surface Chemistry