16:00 〜 16:15
▲ [13p-1F-8] Plasma-Induced Damage of GaN by Chlorine-containing Plasma
キーワード：plasma-induced plasma,gallium nitride,in-situ monitoring
講演情報
一般セッション(口頭講演)
8 プラズマエレクトロニクス » 8.0 Plasma Electronics English Session
[13p-1F-3~18] 8.0 Plasma Electronics English Session
2015年9月13日(日) 14:30 〜 18:45 1F (レセプションホール1)
Chair:Fumiyoshi Tochikubo(Tokyo Metropolitan Univ.),Hiroshi Akatsuka(Titech)