Effects of Cluster Eliminating Filter on Extremely Thin a-Si:H Films Deposited by SiH<sub>4</sub> Multi-Hollow Discharges

Yoshihiro Torigoe

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8 プラズマエレクトロニクス » 8.0 Plasma Electronics English Session

[13p-1F-3~18] 8.0 Plasma Electronics English Session

2015年9月13日(日) 14:30 〜 18:45 1F (レセプションホール1)

Chair:Fumiyoshi Tochikubo(Tokyo Metropolitan Univ.),Hiroshi Akatsuka(Titech)

16:15 〜 16:30

▼ [13p-1F-9] Effects of Cluster Eliminating Filter on Extremely Thin a-Si:H Films Deposited by SiH₄ Multi-Hollow Discharges

〇Yoshihiro Torigoe¹, Susumu Toko¹, Kimitaka Keya¹, Daisuke Yamashita¹, Hyunwoong Seo¹, Naho Itagaki¹, Kazunori koga¹, Masaharu Shiratani¹ (1.Kyushu Univ.)

キーワード：a-Si:H

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▼ [13p-1F-9] Effects of Cluster Eliminating Filter on Extremely Thin a-Si:H Films Deposited by SiH4 Multi-Hollow Discharges

▼ [13p-1F-9] Effects of Cluster Eliminating Filter on Extremely Thin a-Si:H Films Deposited by SiH₄ Multi-Hollow Discharges