[13p-4E-1~20] 6.5 表面物理・真空

[13p-4E-11] 中速電子回折と表面波共鳴との相関性

〇堀尾 吉已¹、高桑 雄二²、小川 修一² (1.大同大工、2.東北大多元研)

キーワード：中速電子回折、シリコン、表面波共鳴

電界放射（FE）電子銃の備わった中速電子回折（MEED）装置を最近開発した。FEビームの加速電圧は1kV程度であり、回折図形観察には十分なビーム電流である。Si(001)2x1表面に対し、視斜角10^oから80^oの広い範囲に渡ってMEED図形を観察したところ、主として菊池図形とバルクの回折斑点を示した。一方、表面構造を反映する分数次斑点は限られた視斜角でのみ観察された。そこで、表面敏感な視斜角と表面波共鳴条件との相関関係について議論する。