[13p-PA4-1~25] 12.4 有機EL・トランジスタ

[13p-PA4-14] ポリシルセスキオキサンをゲート絶縁膜に用いたフレキシブルなペンタセントランジスタ

〇八木 一樹¹、中原 佳夫¹、宇野 和行¹、田中 一郎¹ (1.和歌山大システム工)

キーワード：有機半導体

有機薄膜トランジスタ(OTFT)を低コストで作製するためには、安価な汎用プラスチック基板を用いる必要がある。本研究ではポリエチレンナフタレート (PEN)基板上にPSQをスピンコート法で成膜して紫外線重合し、その上に有機半導体材料としてペンタセンを真空蒸着したOTFTを作製し、それを曲げることによって歪みを加えた状態で特性評価を行った。