2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

15 結晶工学 » 15.3 III-V族エピタキシャル結晶

[13p-PB2-1~15] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶

2015年9月13日(日) 13:30 〜 15:30 PB2 (白鳥ホール)

13:30 〜 15:30

[13p-PB2-14] 直接貼付InP/Si基板接合界面における電気特性評価

〇(M2)岸川 純也1、松本 恵一1、下村 和彦1 (1.上智大理工)

キーワード：MOVPE、InP/Si基板、直接貼付法