[13p-PB5-1~9] 12.7 医用工学・バイオチップ

[13p-PB5-9] スロット型Siリング光共振器センサーの温度特性

〇横山 脩平¹、谷口 智哉¹、雨宮 嘉照¹、池田 丈^1,2、黒田 章夫^1,2、横山 新¹ (1.広島大ナノデバ、2.広島大分子生命)

キーワード：Siリング光共振器、スロット型、温度特性

我々の研究グループでは光検出を用いたバイオセンサーの研究を行っている。高いSignal/Noise比、電気的Noiseが少ない反面Siは、温度変化に弱いという欠点がある。そこで差動Siリング光共振器センサーを利用することで温度依存性を減少させる試みを行っている。本研究では検出感度向上のため、スロット型リングを利用しようと考えている。そこでスロット型リング光共振器の温度特性を調べるためにサンプルの作製、評価を行った。