[14a-1C-1~10] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[14a-1C-5] ギャップクロージング型電極を利用した絶縁型電圧センサ

延永 尚記¹、熊谷 慎也¹、石原 裕己²、石居 真²、〇佐々木 実¹ (1.豊田工大、2.矢崎総業)

キーワード：絶縁型電圧センサ、エネルギ管理、静電引力

スマートハウスなど、エネルギを高度に管理する製品が普及しつつある。電池を利用する際に、抵抗損失を減らするため、高電圧化する傾向がある。エネルギ測定には、電流と電圧の測定が基本となる。電流は磁界計測により絶縁を取りつつ測定できるが、高電圧測定には一般には絶縁回路が追加して必要となる。小型でエネルギ消費が少ない絶縁型の高電圧センサを、電界を受ける振動子の共振周波数変化を電気的に計測する方法にて提案する。