[14a-1E-1~9] 12.1 作製・構造制御

[14a-1E-1] 基板-鎖状極性分子間の相互作用が薄膜形成初期過程に及ぼす影響

〇竹田 治生¹、小林 拓磨¹、蓬莱 健一¹、松原 亮介¹、久保野 敦史¹ (1.静岡大工)

キーワード：真空蒸着、薄膜

有機薄膜デバイスの性能に影響を与える凝集構造の最適化には、基板-有機層界面における薄膜形成初期過程の詳細な検討が必要である。我々はin situ測定が可能な水晶振動子マイクロバランス(QCM)を用いて長鎖有機分子の吸着過程を解析してきた。本研究では基板表面-分子間の相互作用に着目し、末端に極性官能基を有する鎖状極性分子をSAM修飾基板上に蒸着し、官能基同士の相互作用が薄膜形成初期過程に及ぼす影響について検討した。