[14a-1E-1~9] 12.1 作製・構造制御

[14a-1E-9] マルチノズルによる蛍光体ペーストの厚膜塗布方法

〇(D)土屋 均^1,2、本間 哲哉¹ (1.芝浦工大、2.東芝ITｺﾝﾄﾛｰﾙｼｽﾃﾑ)

キーワード：蛍光体層、蛍光体ペースト、マルチノズル

発光型フラットパネルディスプレィには、フロントパネルに形成した蛍光体層にプラズマ照射あるいは電子線照射で発光させるPDP，FEDがある。これらの大型化を目的に、シングルノズルでの蛍光体ペーストディスペンスシステムを開発したが、生産性に課題があった。本研究では、ディスペンス方式の更なる生産性向上を図るため、マルチノズルによる複数種の蛍光体ペーストの同時塗布プロセスを検討した。