[14a-2K-1~12] 1.6 超音波

△ [14a-2K-8] ScAlN 薄膜装荷による縦型リーキー弾性表面波の低損失化

〇(M1)五味 将史¹、垣尾 省司¹ (1.山梨大院医工)

キーワード：ScAlN薄膜、縦型リーキー弾性表面波

本報告では、AlとScの2つのターゲットを用いる二元スパッタリング法によりScAlN薄膜を作製し、配向性と圧電性を評価した結果と、ScAlN薄膜を装荷したX36°Y-LN上のLLSAW伝搬特性を評価した結果について述べる。