[14a-2N-1~11] 3.15 シリコンフォトニクス

[14a-2N-5] 中空ゲルマニウム十字構造を用いた２軸性伸張歪の増強

〇石田 悟己¹、加古 敏^1,2、小田 克矢³、岩本 敏^1,2、荒川 泰彦^1,2 (1.東大生研・先端研、2.東大ナノ量子機構、3.日立研開)

キーワード：ゲルマニウム、増強、歪み