[14a-2Q-1~13] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[14a-2Q-9] 中性粒子ビームエッチング技術を用いたSi量子ドットの作製と熱伝導特性

〇菊池 亜紀応^1,2、八尾 章史²、毛利 勇²、中村 雅一³、山下 一郎³、澤野 憲太郎⁴、寒川 誠二⁵、小野 崇人¹ (1.東北大院工、2.セントラル硝子、3.奈良先端大、4.東京都市大、5.東北大流体研)

キーワード：半導体